任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵。抗沖擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。

潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

產品陣容

TG220F

■ 任何方向

■ 緊湊的尺寸

■ 節能

■ 快速啟動

■ 帶排氣口快速關閉

■ 用于空氣涌入的耐用結構
※空氣涌入測試（連續400次）

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 通過安全標準NRTL/SEMI-S2/CE

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設備

■ 燈具生產、光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研究開發
*如果排氣腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。

• 規格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

*1 ： 使用160L/min的前級真空泵時[
使用環境溫度]
確保達到極限壓力的環境溫度范圍為10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
【對應氣體】
部分使用氣體會使潤滑脂及內部零件變質。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。