日本ULVAC愛發科VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵

更新時間：2025-06-07

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VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵

特長

低振動

葉片型構造，大幅降低了振動傳導較大的低頻領域的振動。

內置式油霧過濾器

無需安裝外置的油霧過濾裝置，結構緊湊。

優秀的排水氣能力

可直接搭載羅茨泵使用，連接簡單方便。

有效的空氣冷卻，同時水冷可選

在非開放式廠房環境，選用水冷可有效節能。

用途

• 鍍膜、濺射、離子鍍。

• 氣體置換、充填、真空隔熱。

• 真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。

• 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。

• 檢漏裝置、真空成形、真空鑄造。

• 真空包裝、真空吸附、搬送、其它。

技術參數
外形尺寸圖
抽氣速率曲線

注意

* 1 為皮拉尼真空計測定值。
* 2 水蒸氣容許值與水蒸氣處理量是根據下表冷卻水條件測定，并且冷卻水的入口溫度為26℃。
* 3 另備有耐壓防爆型電機供選購，但寬電壓不能對應。
* 4 備有其他種類的泵油，歡迎咨詢。
* 5 吸排氣口采用JIS規格的法蘭時，接管安裝尺寸會發生變化。
* 6 為極限壓力時的數值。

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日本ULVAC愛發科VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵

VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵